MDPlinescan

在线线扫描仪或单点测量

MDPlinescan 是一款专为无缝集成到自动化检测系统而设计的 OEM 设备。它能够实时执行载流子寿命扫描，通常通过传送带或机器人系统将样品输送至测量头下方进行检测。 应用范围涵盖从硅砖到晶圆的检测，每片晶圆的测量速度可达一秒以内。该设备广泛用于电池生产线中的进料质量评估，以及钝化与扩散工艺后的质量检查等专业应用。集成过程简单直观，仅需以太网连接和电源供应。

事实

• 支持单晶圆检测

• 基于工艺配方进行测量

• 监控材料质量、工艺完整性及稳定性

优势

• 该小型设备的重点在于测量微PCD或稳态激发条件下少数载流子寿命和电阻率曲线。

• 本设备为OEM单元，可集成于多晶或单晶硅晶圆的生产线中，适用于从不同制备阶段直至器件、晶片或锭块的各个环节。

• 小巧的尺寸和标准自动化接口使其易于集成。重点在于长期的可靠性以及测量结果的精确度。