SPSresearch

满足研发需求的可定制Mapping系统

满足研发需求的灵活Mapping工具

配备可变能量激发源的SPSresearch系统，与固定激发的 HR-SPSmap 系统基于同样稳健的技术平台。这款紧凑型台式非接触式电学表征工具专为离线生产控制及研发应用而设计。 该设备可在宽注入范围内提供精确的表面光电压（SPV）测量，支持稳态和短脉冲激发两种模式。此外，它还具备连续波长扫描功能，可实现真正意义上的光谱测量，从而对任何光活性样品进行可靠的表征。

多功能与自动化适应性

SPSresearch 专为灵活高效而设计。凭借自动样品识别和参数设置功能，它可以轻松适应各种样品类型，包括外延层以及处于不同工艺阶段的晶圆——从原生长材料到完整制程器件。

无论是助力研发创新，还是满足严苛的生产监控需求，配备可调能量激发光源的 SPSresearch 均能提供无可比拟的测试精度与功能适配性，为电学表征解决方案树立了新标准。