彻底改变铸锭涂胶后的准备工作：自动化、精确和模块化
采用专有算法的超快混合 X 射线光学测量仪
采用模块化计量和工具的机器人驱动操作
先进的工厂连接和服务功能
Materials
Ingot XRD SiC 设备具备高吞吐量和高精度，可高效生产先进的碳化硅晶圆。
SiC GaN AIN and more
Features & Benefits
无与伦比
质量
采用混合计量技术
0.005˚
轴向精度
灵活
加载和通信选项
直径
100-300
嗯
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