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使现有设备能够达到 200 毫米和 300 毫米铸锭的高端外径/缺口规格
使现有设备达到高端外径/缺口规格
真正符合晶圆厂要求的在线晶圆方向映射
用于超快晶体定向、生产中的晶体对准、质量控制、摇摆曲线测量、材料研究等
超快、底面测量晶体取向的紧凑型封装
超快顶面测量晶体取向,采用紧凑型封装
全自动在线定位和处理铸锭、铸锭块和铸锭球
Fully automated wafer, seed wafer and boule quality control and…
石英棒、晶片和坯料的生产与质量控制
该产品即将推出
用于精确材料分析的高精度电阻率绘图系统
超越障碍的精度:用于电阻率测量的新一代太赫兹制图
精确的终生特征描述,卓越的灵敏度
快速简便的寿命测量变得简单易行
多功能 OEM 设备,用于测量硅样品(从硅砖到加工晶片)的使用寿命
用于半导体质量控制和材料研发的先进寿命测量系统
先进的单晶硅锭、硅砖和硅片质量控制解决方案
用于先进材料分析的温度相关寿命测量系统
用于精确材料表征的高分辨率、随温度变化的寿命测量系统
用于材料深度分析的先进高温寿命测量系统
通过热释电效应确定晶体表面极性的移动系统
高分辨率、高灵敏度的表面光电电压测量解决方案
可变能量激励源
专为集成到手套箱中而设计,可加热至 100°C,高分辨率,灵敏的表面电压测量
宽范围双棱镜单色仪
专为智能生产环境设计的 GWh 级电池化成和测试
利用智能测量驱动的过程控制进行中试规模的电池化成和测试
集成传感和先进的充电控制,实现智能化、测量驱动的电池组装
双面 PERC/PERC+、HIT、Topcon、晶体硅太阳能电池、迷你模块等的质量控制解决方案
最灵敏的 TL/OSL 读取器
最先进的 TL/OSL 阅读器
便携式 OSL 读取器,设计用于高效读取和*擦除兼容的剂量计
最先进的个人剂量测定 OSL 系统
Freiberg Instruments 的现代 TLD 阅读器
即使在极端条件下也能进行高精度吸附测量的磁悬浮天平
用于聚合物和半导体分拣的全自动高灵敏度拉曼传感器
辐射污染监测仪
用于测量集装箱的空间分辨探测杆
高量程剂量率仪
配备 50 毫米 PIPS 检测器的便携式设备;符合 ISO 11929 标准的浓度计算方法
伽马辐射监测仪
单晶体超快定向测量
稳定且简化的设置:X射线管和探测器保持固定,仅需一个测量圆,且无需单色器。
全面的数据采集仅需一次旋转即可采集确定完整取向所需的所有数据。
高精度与最短测量时间该方法在短暂的测量时间内即可提供卓越的精度。
这些特点使 Omega-Scan 方法特别适合于速度和可靠性至关重要的常规测量和工业应用。
Omega-Scan技术涉及沿特定轴(如表面法线)将样品旋转360°。X射线源和探测器的位置根据晶体类型进行调整,以确保每转一圈获得最佳的反射次数。通过分析这些反射的角位置,可以确定晶格取向相对于旋转轴的位置。
为精确对齐晶格取向与晶体表面,需利用激光束检测表面方向。其他相关的参考平面或方向也可通过光学工具进行测量。该技术能够对任何构型的单晶进行精确的取向测量,测量重复性可达几角秒以内——通常仅需几秒钟即可完成测量。
Omega-Scan方法的一项特殊应用是精密晶格参数测定,尤其适用于立方晶体,可提供高度精确的结构信息。
Related Applications: 水晶质量, 石英坯分类, 各种几何形状和尺寸的样品, 平面内方向的标记和测量, NLO 材料:晶体质量与光轴方向, 晶体表面方向图, 晶体涡轮叶片的 3D 制图, 自动晶片分拣, 石英棒对齐
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Fully automated wafer, seed wafer and boule quality control and sorting multi-tool metrology equipment
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