先进的电阻率Mapping(面扫)对于SiC、GaN、InP等半导体材料质量管控的关键。 设备采用涡流传感技术，可实现非接触式高精度检测，测量重复性优异（标准差 σ＜0.15%），适用于晶圆、晶棒、晶锭等各类异形工件。系统集成测距与温度传感器，能够补偿外界环境及材料本身带来的偏差，保障检测结果稳定、精准。
电阻率Mapping的自动化应用，大幅提升了检测效率，并减少人工操作。设备具备 X-Y 平面测绘能力，测点分辨率可达 ±0.1 毫米，兼顾实验室研发与大规模量产场景。设备校准流程简便，且兼容 SEMI MF 673 等行业标准，可简化调试工作，长期稳定保持设备性能。
该技术兼具高灵敏度、自动化特性与广泛的材料适配性，可满足各类半导体应用场景需求，助力生产企业提升良率、加快研发进度，并稳步扩大产能。
