可对薄层和表面进行先进的材料研究：无破坏、灵活、快速
采用先进的电子检测系统，灵敏度高
为多达 4 种不同波长定制激光器和光学器件
研究电荷分离过程和电子跃迁（缺陷）
Materials
Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more
Features & Benefits
355-1550 纳米
可用波长
10 ns
时间分辨率
0.1 毫米
空间分辨率
< 5 分钟
8英寸晶圆的吞吐量
用于研发和生产监控的灵活绘图工具
HR-SPSmap 产品平台基于广受好评的 MDPmap 系列所奠定的成熟基础。 这款紧凑型台式非接触式电学表征仪器专为离线生产控制及研发应用而设计。它可在宽注入范围内测量表面光电压 (SPV)，支持稳态和短脉冲激励。 凭借自动样品识别和参数设置功能，它能够轻松适应各种样品，包括外延层和处于不同加工阶段的晶圆，从刚生长的材料到完全制成的器件。
卓越的灵活性和先进功能
HR-SPSmap 的一大突出优势在于其卓越的灵活性。 该系统配备固定能量激发源，测量头内最多可集成四台激光器。这一能力支持在从极低到高注入水平的宽范围内进行注入水平相关的 SPV 测量，并支持使用不同激光波长进行深度剖面分析。该系统还包含偏置光功能，以增强测量选项。
此外，HR-SPSmap 支持自定义计算和映射配置，并具备导出原始数据以供详细外部分析的能力。对于标准计量任务，该平台提供预定义的配方系统，只需按一下按钮即可完成常规测量。
释放精度与适应性
凭借其先进的功能和用户友好的设计，HR-SPS 是寻求高精度表面光电压测量的研究人员和生产团队的理想解决方案。无论是用于研发创新还是可靠的生产监测，该平台都重新定义了电学表征的灵活性和效率。
