Wafer XRD / 200, 300

用于全自动分拣、样品晶体取向、样品尺寸、光学缺口/平面和边缘轮廓测定等

通过马尔文实验室独家提供

产品介绍

Materials

借助Wafer XRD技术，可以对多种材料进行精确分析。凭借其灵活性和卓越性能，我们的系统甚至能够满足最苛刻的要求。

Si SiC Quartz GaN GaAs AIN InP Al₂O₃ (sapphire) and more

Features & Benefits

全自动晶圆处理和分拣系统（例如：托盘到托盘）
晶体取向与电阻率测量
晶圆几何特征（缺口位置、缺口深度、缺口开口角、直径、平坦位置及平坦长度）的光学测定
未抛光晶圆及镜面表面的距离测量
MES 和/或 SECS/GEM 接口

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Full characterization of semiconductor (SC) materials using the Wafer XRD200 (SC) tool PDF (289 KB)

Fully automated wafer sorting and handling system

Applications

晶圆 XRD - 通过马尔文泛析独家提供

本产品由我们的可信赖合作伙伴负责分销。

Technologies

软件

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