重新定义硅锭研磨预处理工序：全自动、高精度、高效率。
快速测定晶体取向
集成共焦传感器的光学几何检测
精确的全自动胶合和端件连接
特性与优势
70-300 mm
锭尺寸
0.005°
轴向精度
灵活性
加载和通信选项
圆柱形晶锭
计算
采用混合计量技术
Ingot XRD 200 用于 200 mm铸锭
Ingot XRD 300 用于 300 mm铸锭
规格
| 参数 | 标准偏差 |
|---|---|
| 直径 | < 6 µm（研磨锭）；< 30 µm（毛坯锭） |
| Notch/Flat位置 | < 0.01° |
| Notch深度 | < 6 µm |
| Notch开口角 | < 1.5° |
| X 射线轴与Flat/Notch位置 | < 0.02° |
| 锭长 | > 0.1 mm |
