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使现有设备能够达到 200 毫米和 300 毫米铸锭的高端外径/缺口规格
使现有设备达到高端外径/缺口规格
真正符合晶圆厂要求的在线晶圆方向映射
用于超快晶体定向、生产中的晶体对准、质量控制、摇摆曲线测量、材料研究等
超快、底面测量晶体取向的紧凑型封装
超快顶面测量晶体取向,采用紧凑型封装
全自动在线定位和处理铸锭、铸锭块和铸锭球
Fully automated wafer, seed wafer and boule quality control and…
石英棒、晶片和坯料的生产与质量控制
该产品即将推出
用于精确材料分析的高精度电阻率绘图系统
超越障碍的精度:用于电阻率测量的新一代太赫兹制图
精确的终生特征描述,卓越的灵敏度
快速简便的寿命测量变得简单易行
多功能 OEM 设备,用于测量硅样品(从硅砖到加工晶片)的使用寿命
用于半导体质量控制和材料研发的先进寿命测量系统
先进的单晶硅锭、硅砖和硅片质量控制解决方案
用于先进材料分析的温度相关寿命测量系统
用于精确材料表征的高分辨率、随温度变化的寿命测量系统
用于材料深度分析的先进高温寿命测量系统
通过热释电效应确定晶体表面极性的移动系统
高分辨率、高灵敏度的表面光电电压测量解决方案
可变能量激励源
专为集成到手套箱中而设计,可加热至 100°C,高分辨率,灵敏的表面电压测量
宽范围双棱镜单色仪
专为智能生产环境设计的 GWh 级电池化成和测试
利用智能测量驱动的过程控制进行中试规模的电池化成和测试
集成传感和先进的充电控制,实现智能化、测量驱动的电池组装
双面 PERC/PERC+、HIT、Topcon、晶体硅太阳能电池、迷你模块等的质量控制解决方案
最灵敏的 TL/OSL 读取器
最先进的 TL/OSL 阅读器
便携式 OSL 读取器,设计用于高效读取和*擦除兼容的剂量计
最先进的个人剂量测定 OSL 系统
Freiberg Instruments 的现代 TLD 阅读器
即使在极端条件下也能进行高精度吸附测量的磁悬浮天平
用于聚合物和半导体分拣的全自动高灵敏度拉曼传感器
辐射污染监测仪
用于测量集装箱的空间分辨探测杆
高量程剂量率仪
配备 50 毫米 PIPS 检测器的便携式设备;符合 ISO 11929 标准的浓度计算方法
伽马辐射监测仪
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快速测定晶体取向
集成共焦传感器的光学几何检测
精确的全自动胶合和端件连接
70-300 毫米
锭尺寸
0.005°
轴向精度
灵活
加载和通信选项
气缸计算
采用混合计量技术
高速测量,精度极高:< 5 秒/样本
典型倾斜标准偏差(示例:Si 100):< 0.003°,最小值 < 0.001°
自动锭体对齐
胶块自动定位
通过光学检测原坯和/或研磨坯的几何特征(平整度/缺口位置)
锭坯自动标记
可轻松集成到生产线中(手动或机器人装载)
数据矩阵码(DMC)读取器
MES接口;SECS/GEM或类似协议
适用于直径最大300毫米、长度最大520毫米的锭坯
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Ultra-Fast Orientation Measurement for Single Crystals
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Cutting-Edge Software for Controlling X-ray Diffractometers
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