Quartz XRD

• 测定相对于样品表面的取向倾角

• 自动显示角分量（Theta 和 Phi），包括标准偏差

• 德国工艺：坚固且模块化设计

• 适用于多种切割方式：AC、SC、IT、TF 等

• 易于使用的软件套件，支持多用户级别，并可自动显示、记录和生成测量数据报告

• 自动化：针对不同尺寸晶圆或坯片的定制化样品处理系统，包括机器人、拾放装置及振动送料器

选项

• 面向工业领域的MES接口

• 映射（晶圆）

• 立体投影及其他

技术数据

• X射线管：1.5 kW，铜阳极

• 电源：200 – 230 V，16 A，单相