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无损、灵活、快速,助力薄膜及表面先进材料研究

  • 采用先进的电子检测系统,灵敏度高

  • 可定制激光器与光学组件,适配多达4个波长

  • 自动控温测量及退火功能,单次最多可测量25个样品

Materials

SPSmap Heat 配备多规格可选激发激光器,可对几乎所有半导体进行电学表征。

 

 

Perovskite Si SiC Ge GaAs InP Ga₂O₃ Diamond

Features & Benefits

355...1550 n

可用波长

0.1 mm

空间分辨率

10 ns

时间分辨率

最多
25 个样品

自动测量和加热序列

最多
25 个样品

自动测量和加热序列

  • 灵敏度:亚毫伏级灵敏度,信号幅值分辨率覆盖 超过3 个数量级

  • 测量速度:150mm wafer(1 mm分辨率)测量时间<5 分钟

  • 时间分辨率:10 ns ~100 ms

  • 自动化:最多可支持 25 个样品完成Mapping

  • 变温测量:自动变温测量或退火处理,最高温度100°C

30 秒速览核心优势

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技术规格

样品尺寸晶圆或薄片,厚度≤25 mm,面积5×5 mm²~160×160 mm²,支持方形晶圆
激发可在 337 nm 至 1550 nm 范围内,最多选择四种不同波长(默认 980 nm)
材料钙钛矿或各类光敏材料(材料适配问题,请联系我们)
可测量时间分辨及变温表面光电压测量
尺寸750 x 835 x 660 mm
重量约 120 公斤
电源100 - 250VAC,50/60 Hz,5 A
分辨率100 µm

Accessories & Options

我们的设备支持多种灵活配置,可精准匹配您的特定需求。每个型号均可按需定制,确保灵活性与效率最大化。

如需了解更多信息,请联系我们

  • 提供宽波段激光光源,覆盖 337 nm ~ 1550 nm

  • 集成加热台(20-250 °C)

  • 光斑尺寸可调

  • 校准晶圆(Si)
     

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sales@freiberginstruments.com