通过 XRD 反射分析评估晶体质量

晶体质量无法直接测量,但可以通过评估若干物理性质,并将其与纯净、均匀晶体的标准进行比较。其中一项性质就是X射线衍射(XRD)峰的半宽。

晶格的规则性决定了其质量。缺陷、位错和杂质等瑕疵是每个晶格固有的。此外还存在晶界和裂纹等其他不连续性。这些瑕疵会在周围晶格中引入局部应变,可通过记录X射线衍射峰的摇摆曲线来检测。

通过分析入射光束的几何特性及由此产生的摇摆曲线半宽,可有效表征晶体的表面质量。


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