平面内方向的标记和测量

利用欧米茄扫描进行高效晶体定向和平面内方向测量

Omega Scan 可在单次测量中提供完整的晶体取向信息，从而能够直接识别面内方向。此功能对于标记面内方向或验证平坦面和缺口的取向尤为有用。

在晶圆离子注入和光刻过程中，平边或缺口充当取向标记。加工完成后，晶圆上包含数百个芯片，必须通过劈裂进行分离。 这些芯片与晶格面的正确对齐对于轻松劈片至关重要，因此必须检查平口或缺口的定位。这需要对面内分量进行精确测量。

与更为复杂或精度不足的Theta Scan方法不同，Omega Scan能够一次性精确测量完整的取向。该系统还允许轻松将任何平面方向调整至用户定义的特定位置，从而简化了平面取向标记等任务。针对高通量应用，我们提供自动化测量解决方案，确保最高效率。