晶体表面方向图

利用欧米茄扫描仪精确绘制表面方向图

即使在单晶内部，晶面取向也会在表面上出现细微变化，这通常是由于晶格缺陷引起的内部应变所致。同样，生长良好的薄膜也会呈现出独特的面内取向分布。

绘制此类表面的取向图通常需要进行大量测量，而这正是Omega-Scan方法凭借其速度和效率大显身手之处。下图展示了一张在(Si, Ge)固溶体晶圆上测得的取向图，其中最大取向差仅为0.03°。 图中的同心圆对应晶体的生长环，为其结构提供了宝贵的见解。