电阻率绘图和测量

电阻率直接取决于半导体的掺杂浓度,因此是监测掺杂分布和均匀性的有用参数。 寿命和扩散长度也取决于掺杂浓度。由于掺杂会偏移费米能级,因此在大多数情况下会增加表面自由电子再结合速率。此外,由于在高掺杂材料中奥格再结合更易发生,因此随着掺杂浓度的增加,再结合过程本身也会增强。

在我们的系统中,电阻率是通过非接触式涡流法测量的。 当样品暴露于随时间变化的磁场中时(例如,当靠近样品的线圈中流过交流电流时),会产生涡流。这会在样品内部产生电流,而这些环流产生的感应磁场会与原始磁场的变化方向相反。 样品的电导率越大,产生的电流就越大,反向磁场也就越强。换句话说,测量的就是材料中的电损耗,这与样品的电阻率直接相关。

需注意,测量结果还取决于线圈与样品之间的距离,因此也与样品的几何特征有关。

晶片和砖块的电阻测量

电阻率是材料最重要的电学参数之一。它是太阳能电池等半导体器件性能的关键参数,且取决于材料的掺杂浓度。 因此,为了检测掺杂浓度的不均匀性,必须以高精度和高分辨率测量电阻率。

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