不同波长激光在硅中的穿透深度

不同波长激光在硅中的穿透深度

微波检测光导度用于测量样品经光照射后的光导度。通常，光的能量应高于带隙，以便产生电子和空穴。对于硅而言，这意味着应使用波长小于1100 nm的光。 若需检测表面或薄外延层，使用紫外光或蓝光可能更为有效，因为这些光在硅中的穿透深度要小得多。图1展示了硅中光穿透深度与波长的关系，可为用户提供参考，帮助其确定哪种波长最适合其应用。