测得的或有效寿命由体寿命和表面寿命组成，其关系式为：
\(\cfrac{1}{\tau_{eff}} = \cfrac{1}{\tau_{bulk}} + \cfrac{1}{\tau_{surface}}\)
正因如此，表面性质（尤其是表面复合速率 S）对测得的寿命具有巨大影响。 这一特性可用于研究样品的表面性质。热氧化硅或SiNx常被用于钛化（Cz-）、氟化（Fz-）或多晶硅（mc-Si）的表面钝化，这意味着表面复合速率被显著降低。 可以通过寿命测量来研究该钝化层的均匀性。目标是以高分辨率测量钝化层的均匀性。
使用 MDPmap、MDPingot 或 MDPinline，可以非常高分辨率（仅受载流子扩散长度的限制）地研究钝化层的均匀性，如图 1 所示。 特别是在具有高体寿命的高质量材料中，表面复合起主导作用，因此寿命图中的任何差异都源于钝化层的不均匀性。
通过使用不同波长或不同样品厚度进行测量，甚至可以对表面复合速率进行良好的估算。如果样品质量非常高（如 FZ-Si），则可以假设体寿命仅取决于奥格尔复合，从而根据测得的寿命来确定表面复合速率。
MDPmap、MDPingot 或 MDPinline 能够以极高的分辨率测量钝化层的均匀性，甚至可在在线状态下进行。借此，可以优化钝化工艺。
为了根据未钝化晶片上测得的寿命近似计算体寿命，使用以下方程：
\(\tau_{eff, \lambda} = \cfrac{\tau_{bulk}}{1-\alpha ^2L^2} \Biggl \lfloor 1-\alpha L\cfrac{\alpha L + \frac{SL}{D} coth \frac{\alpha d}{2}}{1 L + \frac{SL}{D} coth \frac{d}{2 L}} \Biggr]\)
其中 d 为样品厚度
α - 1/穿透深度
α = a/s（s 为微波的表层深度；a 为经验系数，通过与同一批砖块制成的钝化晶圆进行对比确定）
L – 扩散长度
D —— 扩散系数
S – 刚切削面的表面复合速率 (S = 2.0e+5)
如需了解更多信息，请参阅：
[1] J. Schmidt，学位论文，汉诺威大学，1998年
Fig. 1: Example of an oxide passivated Cz-Si wafer with a gradient in the oxide thickness
