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既存の設備で200mmおよび300mmインゴットのハイエンドOD/ノッチ仕様に対応可能
既存の装置でハイエンドのOD/ノッチ仕様が可能
真にファブに準拠したインライン・ウェハ・オリエンテーション・マッピング
超高速結晶配向、生産中の結晶アライメント、品質管理、ロッキングカーブ測定、材料研究などに使用可能
コンパクトなパッケージで超高速、底面結晶方位測定
コンパクトなパッケージで結晶方位を超高速上面測定
インゴット、ブール、パックのオリエンテーションとハンドリングをインラインで完全自動化
Fully automated wafer, seed wafer and boule quality control and…
水晶バー、ウェハー、ブランクの製造と品質管理
近日発売
正確な材料分析のための高精度比抵抗マッピングシステム
バリアを超えた精度:抵抗率測定のための次世代テラヘルツ・マッピング
卓越した感度で高精度のライフタイム・チャタライゼーション
迅速で簡単な寿命測定
レンガから加工ウェハーまで、シリコンサンプルのライフタイム測定用汎用OEMユニット
半導体の品質管理と材料研究開発のための先進的な寿命測定システム
単結晶シリコン・インゴット、ブリック、ウェハーの品質管理のための先進ソリューション
先端材料分析のための温度依存寿命測定システム
精密材料特性評価のための高分解能温度依存寿命測定システム
詳細な材料分析のための先進的高温寿命測定システム
焦電効果による結晶表面極性決定のためのモバイルシステム
高分解能・高感度表面光電圧測定ソリューション
可変エネルギー励起源を持つ
グローブボックスへの組込み用に特別に設計、100℃まで加熱可能、高分解能、高感度表面電圧測定
ワイドレンジダブルプリズムモノクロメーター
インテリジェントな生産環境のために設計されたGWhスケールのバッテリー形成とテスト
インテリジェントな測定主導型プロセス制御によるパイロットスケールの電池形成と試験
インテリジェントな計測主導型バッテリー形成のための統合されたセンシングと高度な充電制御
バイフェーシャルPERC/PERC+、HIT、トプコン、c-Si太陽電池、ミニモジュールなどの品質管理ソリューション
最も高感度なTL/OSLリーダー
最先端のTL/OSLリーダー
互換性のある線量計を効率的に読み取り、消去するために設計されたポータブルOSLリーダー
個人線量測定のための最先端のOSLシステム
Freiberg Instrumentsによる最新のTLDリーダー
過酷な条件下でも高精度の収着測定を可能にする磁気懸濁天びん
ポリマーと半導体の選別用全自動高感度ラマンセンサー
放射能汚染モニター
輸送コンテナ測定用空間分解検出器ロッド
高レンジ線量率計
50 mm PIPS検出器付きポータブル装置;ISO 11929準拠の濃度計算
ガンマ線モニター
ご興味がありますか?お問い合わせください!
HJT、HIT、TOPcon、両面PERC、PERC+太陽電池などに対応。
寿命範囲:20 ns ~ 100 ms(抵抗率が 0.3 Ω・cm を超える試料の場合)
SEMI規格:PV9-1110
測定速度:ライン<スキャンで30秒未満、全領域マッピングで5分
以下の項目の同時測定:μPCD/MDP(QSS)の寿命および抵抗率
自動形状認識:G12、M10ブリックおよびウェーハ
Slip lines in Cz-Si ingot
Lifetime measurement of a quasi-mono Si ingot with a lot defects
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当社のデバイスは、特定の要件に効果的に対応できるよう、多彩な設定オプションをご用意しています。各モデルはカスタマイズが可能で、最大限の柔軟性と効率性を実現します。
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スポットサイズのばらつき
抵抗率測定(レンガ/ウェハー)
バックグラウンド/バイアス光
反射測定(MDP)
LBIC
p型ドープSiの内部鉄マッピング
P/N検出
バーコードリーダー
自動形状認識
幅広いレーザー
Cutting-Edge Software for Controlling X-ray Diffractometers
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