材料欠陥の根本原因分析が可能：破壊がなく、柔軟で正確
高い空間分解能
あらゆる素材に対応するカスタマイズされたレーザーと光学部品の統合
4 "までのサンプルに対応する新しいクライオスタット
素材
MDpicts pro を使用すれば、ほぼすべての半導体の電気的特性評価が可能になります
Si SiC Ge GaAs Ga₂O₃ InP Diamond and more
特長と利点
355-4600 nm
利用可能な波長
10ナノ秒
時間分解能
83-300 K
温度範囲
10 µm
空間分解能
用途
技術仕様
| 温度範囲 | 83 – 350 K |
|---|---|
| 試料サイズ | 最大4インチのウェーハ小型ウェーハ片 |
| 比抵抗 | 0.2 ～ 1010 Ωcm |
| 導電型 | p型、n型 |
| 少数キャリア寿命 | 20 ns – 100 ms |
| 測定可能な特性 | 寿命、光伝導度、活性化エネルギーなど |
| 励起 | 355 – 4600 nm |
