MDPlinescan

インライン・ライン・スキャナーまたはシングル・スポット測定

MDPlinescanは、自動検査システムへのシームレスな統合を目的として設計されたOEMユニットです。通常、コンベアベルトやロボットシステムによって測定ヘッドの下をサンプルが搬送される中で、キャリアの寿命測定をリアルタイムで行います。 用途はシリコンブリックからウェハーの検査まで多岐にわたり、ウェハー1枚あたりの測定速度は1秒未満を実現します。セル生産ラインにおける入荷材料の品質評価や、パッシベーションおよび拡散後のプロセス品質チェックなど、様々な専門用途で広く利用されています。統合は簡単で、イーサネット接続と電源供給のみが必要です。

事実

• 単一ウェーハの解析が可能

• レシピに基づく測定

• 材料品質、プロセスの完全性および安定性のモニタリング

メリット

• この小型装置は、µ-PCDまたは定常励起条件下における少数キャリア寿命および抵抗率曲線の測定を主な目的としています。

• 多結晶または単結晶シリコンウェハの各種前処理段階からデバイス、ブリック、インゴットに至るまで、生産ラインへの組み込みを目的としたOEMユニットです。

• 小型サイズと標準的な自動化インターフェースにより、容易な統合が可能です。長期的な信頼性と測定結果の精度に重点を置いています。