インラインでウェーハアライメントを最適化し、生産性を向上させます。
独自のアルゴリズムによる超高速ハイブリッドX線光学計測
OHT接続に適したSMIFロードポートを備えたフルオートメーション
お客様の事業拡大とともに成長： 70-300 mm ウェハーサイズの柔軟性
素材
XRDmap Pro Wafer Editionは、エピタキシー、リソグラフィ、イオン注入といった後工程を結晶方位に合わせて最適化することで、最大の付加価値を実現します。超高速測定とシームレスなFA（ファクトリーオートメーション）により、サプライヤーのプロセス要件への準拠と、スムーズな材料フローを可能にします。
Si Ge GaAs GaN Ga₂O₃ Diamond InP and more
特長と利点
70-300 mm
ウェハサイズ
0.003˚
端材の大きさの精度
フレキシブル
読み込みと通信のオプション
測定方法
オプトセンサー
ウェーハの形状
