半導体の品質評価は、高度に発達したマイクロ波技術によって実現されています。これにより、半導体の主要な電気的パラメータを、非接触かつ生産ライン並みの速度でマッピングすることが可能となります。
少数キャリア寿命、光伝導度、抵抗率、欠陥情報といったパラメータの測定は、空間分解能、感度、測定速度の点でこれまでにない組み合わせにより、マッピングが可能です。
OEMモジュールからターンキーシステムに至るまで、MDPシリーズはお客様のワークフローに柔軟に対応し、マイクロエレクトロニクスおよび太陽光発電分野における次なるイノベーションを強力に後押しします。
