メニューをスキップ

薄い層や表面の高度な材料研究が可能:破壊がなく、柔軟で速い

  • 高度な電子検出システムにより高感度

  • 最大4つの異なる波長用にカスタマイズされたレーザーと光学系

  • 最大25サンプルの自動温度依存測定および/またはアニーリングステップ

素材

SPSmap Heatは、多彩で魅力的なレーザーを幅広く取り揃えており、ほぼすべての半導体の電気的特性評価を可能にします

Perovskite Si SiC Ge GaAs InP Ga₂O₃ Diamond

特長と利点

355...1550 nm

利用可能な波長

0.1 mm

空間分解能

10ナノ秒

時間分解能

最大
25サンプル

自動測定および加熱シーケンス

最大
25サンプル

自動測定および加熱シーケンス

  • 感度:サブmVレベルの感度と、3桁以上の信号振幅分解能

  • 測定速度:150 mmウェーハで1 mmの分解能の場合、5分未満

  • 時間分解能:10 ns~100 ms

  • 自動化:最大25個の試料を自動的にマッピング可能

  • 温度依存測定:最大100 °Cまでの温度依存測定またはアニール処理を完全自動で実施

30秒でわかる主な利点

ご興味がありますか?当社の専門家が喜んでお手伝いします。

お問い合わせください!

今すぐお問い合わせください!

技術仕様

サンプルサイズ厚さ25 mmまでのウェーハまたは薄板、5 x 5 mm²~160 x 160 mm、正方形のウェーハ
励起337 nm から 1550 nm までの範囲から最大 4 つの異なる波長を選択可能(デフォルトは 980 nm)
材料ペロブスカイトまたは任意の光活性材料(ご使用の材料に関するご相談は弊社までお問い合わせください)
測定可能時間分解および温度依存性の表面光起電力測定
外形寸法750 x 835 x 660 mm
重量約 120 kg
電源100 - 250V、50/60 Hz、5 A
解像度100 µm

アクセサリーとオプション

当社のデバイスは、特定の要件に効果的に対応できるよう、多彩な設定オプションをご用意しています。各モデルはカスタマイズが可能で、最大限の柔軟性と効率性を実現します。

詳細についてはお問い合わせください

  • 337 nmから1550 nmまでの幅広い波長範囲のレーザー光源

  • 一体型加熱ステージ(20~250 °C)

  • スポットサイズの変動

  • 基準ウェーハ(Si)
     

連絡先

ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせフォームをご利用いただくか、メール(sales@freiberginstruments.com)にてご連絡ください。