研究開発

研究開発の進捗を促進する多用途測定ソリューション

フライベルク工科大学のスピンオフ企業であるFreiberg Instrumentsは、強固な科学的バックグラウンドを有しており、科学界向けの測定機器を開発するため、様々な研究プロジェクトにおいて学術パートナーとの協力を絶えず続けてきました。

当社の機器には豊富なオプションやアクセサリーが用意されており、お客様の研究ニーズに合わせたソリューションをご提供します。さらに、最高水準の研究活動を確実にするため、Freiberg Instrumentsではカスタマイズされたソリューションも提供しています。

研究開発プロジェクトの発見

主な利点

正確な欠陥特性の決定

広範囲の温度領域で温度依存性測定を行い、欠陥の活性化エネルギーを決定する

高い精度と再現性

当社の全製品、および参照試料や証明書は、高い再現性と再現性を備えており、最高水準のトレーサビリティを保証しています

高い測定速度と感度

結晶方位および寿命測定において、比類なき感度と測定速度を実現

インゴット、ウェハー、薄膜まで対応する多用途ツール

当社は、長さ最大850 mmの大型インゴットから、厚さ1 µm以下の薄膜に至るまで、あらゆる形状の試料に対応するツールを提供しています。

温度依存性測定

半導体の欠陥を調査するにあたり、温度依存性測定法は活性化エネルギーを決定するための理想的な手法である。通常、これらの手法では試料上に接点を形成する必要があるが、これは非常に複雑であり、アニール工程によって試料が変化してしまうことも多い。

MDpictsは、非破壊かつ非接触の測定法であり、欠陥の活性化エネルギーや捕捉断面積を高精度で測定することができます。

表面およびバルクの品質調査

バルクと表面の品質を区別することは、寿命測定における主要な課題の一つです。

Freiberg Instrumentsは、さまざまな波長、浸透深度、パルス幅に加え、バルク寿命の推定機能も備えた多様な製品を提供しています。

革新的なソリューション

パートナー

連絡先

ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせフォームをご利用いただくか、メール（sales@freiberginstruments.com）にてご連絡ください。