比抵抗マッピング

半導体品質管理のための正確な材料分析：RESシリーズ

SiC、GaN、InPなどの材料における半導体の品質管理には、高度な抵抗率マッピングが不可欠です。 渦電流センシング技術を採用することで、ウェハー、ブール、インゴットなどの複雑な形状であっても、非接触かつ高精度な測定が可能であり、優れた再現性（σ < 0.15%）を実現します。内蔵された距離センサーと温度センサーが、外部要因や材料固有の変動を補正し、安定的かつ正確な測定結果を保証します。

抵抗率マッピングの自動化により、スループットが大幅に向上し、手作業による介入が削減されました。X-Yマッピング機能と±0.1 mmという高精度な多点測定解像度を備えたこれらのシステムは、研究ラボと大量生産の両方に最適化されています。 簡単な校正手順とSEMI MF 673などの業界標準への準拠により、セットアップの効率化と長期的なシステム性能の維持が実現します。

高感度、自動化、幅広い材料対応性を兼ね備えたこの技術は、半導体分野の多様な用途をサポートし、メーカーが歩留まりを向上させ、開発を加速させ、自信を持って事業を拡大できるよう支援します。