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インゴット接着後の準備に革命を起こします:自動化、精密化、モジュール化

  • 独自のアルゴリズムによる超高速ハイブリッドX線光学計測

  • モジュラー計測とツーリングによるロボット駆動オペレーション

  • 高度な工場接続性とサービス規定

素材

Ingot XRD SiCは、高度なSiCウェハーの効率的な製造に向け、高い処理能力と精度を実現します。

SiC GaN AIN and more

特長と利点

他の追随を許さない
品質

ハイブリッド計測技術を用いて

0.005˚

軸上精度

フレキシブル

読み込みと通信のオプション

直径
100-300

うーん

直径
100-300

うーん

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