インゴット研削の準備を再考：自動化、高精度、高速化。
結晶方位の迅速な決定
共焦点センサー内蔵の光学形状検査
正確で完全自動化された接着とエンドピースの取り付け
特長と利点
70-300 mm
インゴットのサイズ
0.005°
軸上精度
フレキシブル
読み込みと通信のオプション
シリンダー
計算
ハイブリッド計測技術を用いて
インゴットXRD 200 200mmインゴット用
インゴットXRD 300 300mmインゴット用
仕様
| パラメータ | 標準偏差 |
|---|---|
| 直径 | < 6 µm（研磨済みインゴット）； < 30 µm（未加工インゴット） |
| ノッチ／フラット位置 | < 0.01° |
| ノッチ深さ | < 6 µm |
| ノッチの開き角 | < 1.5° |
| X線軸対フラット／ノッチ位置 | < 0.02° |
| インゴット長 | > 0.1 mm |
