極性結晶の+c面と-c面を迅速、非破壊、かつ明確に識別するためのポータブル測定システム。
高速で明確な極性表示
非破壊測定
片手で直感的に操作でき、光学結果の解釈も容易
素材
SiC GaN LiNbO₃ LiTaO₃ PZT ceramics AIN ZnO TGS
特長と利点
速い
30 s
応答時間
ハンドヘルド
測定
色分け
LED
結果が分かりやすい
+c/-c
表面の極性
技術仕様
| 測定パラメータ | 表面極性（+c/-c） |
|---|---|
| 測定原理 | 熱電効果 |
| 結果 | 色分けされたLED |
| 応答時間 | 約30秒 |
| 動作モード | 手持ち測定 |
| 電源 | 単3形乾電池 4本 |
| 自動電源オフ | 約5分間の待機後 |
| 本体サイズ | 140 × 140 × 40 mm |
| センサーヘッドの寸法 | 直径 14 mm × 135 mm |
| ケーブル長 | 90 cm |
| 重量（電池含む） | 650 g |
| 最小サンプルサイズ | 約5 × 5 mm² |
| 最大試料サイズ | 直径300 mmまでのウェーハ |
| 試料の厚さ | 可変 |
| 試料形状 | 結晶およびウェーハ |
| 試験対象材料 | SiC、GaN、LiNbO3、LiTaO3、PZTセラミックス、AlN、ZnO、TGS |
| 測定方式 | 非破壊、固定／メタライズされたコンタクトなし、非接触測定も可能 |