HR-SPSmap

研究開発および生産監視のための柔軟なマッピングツール

HR-SPSmap製品プラットフォームは、広く高い評価を得ているMDPmapシリーズの確かな実績を基盤としています。 このコンパクトな卓上型非接触電気特性評価装置は、オフライン生産管理および研究開発用途向けに特別に設計されています。広範囲の注入領域にわたる表面光起電力（SPV）を測定し、定常状態および短パルス励起の両方に対応しています。 サンプルの自動認識とパラメータ設定機能により、成長直後の材料から完全に製造されたデバイスに至るまで、さまざまな処理段階のエピタキシャル層やウェハーなど、多種多様なサンプルに容易に対応します。

卓越した柔軟性と高度な機能

HR-SPSmap の際立った利点の一つは、その卓越した柔軟性です。 固定エネルギーの励起光源を装備し、測定ヘッド内に最大 4 台のレーザーを統合することができます。この機能により、非常に低い注入レベルから高い注入レベルまで、幅広い範囲で注入レベル依存の SPV 測定が可能になり、異なるレーザー波長を用いた深さプロファイリングも実現します。また、測定オプションを強化するためのバイアス光機能も備えています。

さらに、HR-SPSmapはカスタム計算やマッピング構成に対応しているほか、詳細な外部分析のために生データをエクスポートする機能も備えています。標準的な計測タスクについては、プラットフォームが事前定義されたレシピシステムを提供しており、日常的な測定をワンボタン操作で完了させることができます。

精度と適応性を解き放つ

その高度な機能とユーザーフレンドリーな設計により、HR-SPSは高精度な表面光起電力の測定を求める研究者や生産チームにとって理想的なソリューションです。研究開発におけるイノベーションであれ、信頼性の高い生産モニタリングであれ、このプラットフォームは電気的特性評価における柔軟性と効率性を再定義します。