高濃度ドープ試料用の高速で信頼性の高い比抵抗マッピングツール
卓越した繰返し精度（シグマ < 0.15）
先進安定性センサー
シームレスなインライン統合と容易なキャリブレーション
素材
RESmapは、高濃度ドーピング材料を専門としています。
Si SiC and more
特長と利点
シグマ
< 0.15 %
極めて高い再現性
抵抗率
1-100
mΩ cm
スループット
> 20
ウェハー／時間
± 5 %
温度補正による精度
Bull´s eye chart management for maximum accuracy and precision
Measurement principle of eddy current sensor
用途
RESmap は、比類のない再現性、安定性、精度を備えているため、さまざまな材料の正確な比抵抗マッピングに最適です。
クリスティアン・ハーゲンドルフ博士
キーアカウントマネージャー
| 自動化に対応 | 利用可能な各種プラットフォーム |
|---|---|
| 測定方法は | SEMI MF673に準拠 |
| NIST標準を用いて | NIST標準を用いて |
| 校正範囲内での | ±1% |
| 標準温度での抵抗率を報告できるように | 標準温度での抵抗率を報告可能（試料の実際の温度とは異なる） |
| 高周波信号の浸透深度が試料の浸透深度よりも大きい試料に対する | 高周波信号の浸透深度が浸透深度よりも大きい試料用 |
| 電源要件 | 100～250 VAC、5 A |
| 外形寸法（幅×高さ×奥行き） | 465 x 550 x 600 mm |
| ソフトウェア制御 | Windows 10 以降を搭載した標準的な PC、イーサネットポート 2 つ |
ユーザーフレンドリーで高度な操作ソフトウェア
比抵抗測定の手順
エクスポート/インポート機能および生データへのアクセス
多階層ユーザーアカウント管理
すべての測定結果の概要
マッピングオプション（ライン、クロス、スター、フルマップ、トポグラフィ、ユーザー定義パターン）
解析機能パッケージ：統計、分散分析、温度補正機能およびライブラリ
リモートアクセス：インターネットベースのシステムにより、世界中どこからでも遠隔操作や技術サポートが可能