拡散長

拡散長は、過剰キャリアが再結合する前に移動できる平均距離である。拡散長は、キャリアの寿命と移動度によって決まる。

\(L = \sqrt{D\tau}\)

 

注:拡散係数(D)は定数ではなく、キャリアの移動度に依存する。

\(D = \mu \cfrac{kT}{e}\)

 

あらゆる電気的測定の分解能において、拡散長が限界となります。高品質なシリコン試料の測定では、最大で約1 mmの分解能が得られます。


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