特長と利点
研究開発ニーズに合わせたカスタマイズ可能なマッピングシステム
研究開発向けフレキシブル・マッピング・ツール
可変エネルギー励起源を備えたSPSresearchは、固定励起型HR-SPSmapシステムと同じ堅牢な基盤に基づいて構築されています。このコンパクトな卓上型非接触電気特性評価ツールは、オフライン生産管理および研究開発用途向けに設計されています。 広範囲の注入領域にわたる高精度な表面光起電力(SPV)測定が可能で、定常状態および短パルス励起の両方をサポートします。さらに、真の分光測定のための連続波長掃引機能を備えており、あらゆる光活性試料の信頼性の高い特性評価を実現します。
汎用性と自動化による適応性
SPSresearchは、柔軟性と効率性を追求して設計されています。自動化された試料認識とパラメータ設定により、エピタキシャル層や、原材料から完成デバイスに至るまで様々な段階で処理されたウェハーなど、幅広い試料にシームレスに対応します。
研究開発におけるイノベーションから厳格な生産モニタリングに至るまで、可変エネルギー励起を備えたSPSresearchは、比類のない精度と汎用性を提供し、電気的特性評価ソリューションの新たな基準を確立します。




