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特長と利点

  • 感度:μV単位の感度と、7桁以上の信号振幅分解能

  • 測定速度:150 mmウェーハ、1 mm分解能で1ポイントあたり5分未満

  • 時間分解能:10 ns~100 ms

  • 光学ヘッド:レーザー駆動式光源。光強度および波長(200~3000 nm)を調整可能。スペクトル幅は10 nm未満。

  • 信頼性:モノクロメーターを内蔵した卓上型装置で、高い信頼性と99%以上の稼働率を実現。

研究開発ニーズに合わせたカスタマイズ可能なマッピングシステム

研究開発向けフレキシブル・マッピング・ツール

可変エネルギー励起源を備えたSPSresearchは、固定励起型HR-SPSmapシステムと同じ堅牢な基盤に基づいて構築されています。このコンパクトな卓上型非接触電気特性評価ツールは、オフライン生産管理および研究開発用途向けに設計されています。 広範囲の注入領域にわたる高精度な表面光起電力(SPV)測定が可能で、定常状態および短パルス励起の両方をサポートします。さらに、真の分光測定のための連続波長掃引機能を備えており、あらゆる光活性試料の信頼性の高い特性評価を実現します。

汎用性と自動化による適応性

SPSresearchは、柔軟性と効率性を追求して設計されています。自動化された試料認識とパラメータ設定により、エピタキシャル層や、原材料から完成デバイスに至るまで様々な段階で処理されたウェハーなど、幅広い試料にシームレスに対応します。

研究開発におけるイノベーションから厳格な生産モニタリングに至るまで、可変エネルギー励起を備えたSPSresearchは、比類のない精度と汎用性を提供し、電気的特性評価ソリューションの新たな基準を確立します。

ご興味がありますか?当社の専門家が喜んでお手伝いします。

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技術仕様

試料サイズ粉末試料および直径200 mmまでの
励起レーザー駆動光源
材料あらゆる光活性材料(ご使用の材料に関するご相談は弊社までお問い合わせください)
測定可能時間分解および位相変調表面光起電力測定
外形寸法1250 × 410 × 460 mm (幅 × 高さ × 奥行)、重量:約 100 kg
電源100~250V、50/60 Hz、5 A

アクセサリーとオプション

当社のデバイスは、特定の要件に効果的に対応できるよう、多彩な設定オプションをご用意しています。各モデルはカスタマイズが可能で、最大限の柔軟性と効率性を実現します。

詳細についてはお問い合わせください

  • パルス幅変調およびパルス高変調

  • 一体型加熱ステージ(20~250 °C)

  • スポットサイズの変動

  • バイアス光

  • 抵抗率測定(ウェーハ

  • 基準ウェーハ(Si)

連絡先

ご質問やご要望がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

お問い合わせフォームをご利用いただくか、メール(sales@freiberginstruments.com)にてご連絡ください。