ウェハーとレンガの抵抗測定

MDPmapおよびMDPingotを使用すれば、渦電流測定により、ウェーハやブリックの抵抗率を高精度かつ1mmの分解能で測定することが可能です。渦電流センサーのセットアップは、距離に相関した内部校正マトリックスを採用しているため、非常に優れた長期安定性を備えています。 したがって、各抵抗率マップの測定ごとに、表面平坦性の幾何学的マップも同時に測定されます。抵抗率は、少数キャリア寿命マップや光伝導度マップと併せて同時に測定可能です。ウェーハ測定を行う場合、試料の厚さはユーザー側で指定する必要があります。

• ステップ幅 ≥ 1mm

• エッジ除外 12 mm

• 抵抗率測定用ウェーハの厚さ範囲：150～250 µm

• 抵抗率の範囲は指定可能

• デフォルト設定：0.5～5 Ω・cm

• 精度：5 % 未満

• 再現性：< 1 % (0.5～3 Ω・cmの範囲)

エミッタ拡散の均一性を調査するために、エミッタのシート抵抗をマッピングすることが可能です。ベースの抵抗率はユーザーによって指定する必要があります。

0.1～200 Ω/sq の範囲でのシート抵抗測定

標準サンプルサイズにおける精度：

• 0.1～10 Ω/sq：精度 < 3 %

• 10～100 Ω/sq：精度 < 4 %

• 100～200 Ω/sq：精度 < 5 %

図1～3は、mc-Siウェハーおよびブリック上で測定された抵抗率マップの例を示しています。