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Permet une évaluation rapide et facile de la durée de vie en un seul point

  • Mesure en un seul point

  • Plaquettes et lingots

  • Outil flexible et peu coûteux

Matériaux

Découvrez une simplicité et une rapidité inégalées pour la caractérisation à vie de presque tous les semi-conducteurs grâce à MDPspot, conçu pour rationaliser votre flux de travail sans compromettre la précision.

Si SiC Ge GaN GaAs InP and more

Fonctionnalités et avantages

355-1550 nm

Longueurs d'onde disponibles

10 ns

Résolution temporelle

> 99 %

répétabilité

Flexible
mesure

Pour les plaquettes et les lingots

Flexible
mesure

Pour les plaquettes et les lingots

  • Caractérisation électrique non destructive et sans contact des semi-conducteurs

  • Option de mesure μ-PCD incluse

  • Sensibilité avancée pour la visualisation de défauts jusqu'alors invisibles et l'analyse des couches épitaxiales

  • Intégration de jusqu'à quatre lasers pour une large gamme de niveaux d'injection

  • accès aux données brutes de transitoires individuels ainsi qu'à des cartes à des fins d'évaluation spécifiques

  • permet l'analyse de plaquettes individuelles

  • différentes recettes pour différentes classes de plaquettes

  • surveillance de la qualité et de la stabilité des matériaux et des processus


Mesures ponctuelles sur table

Le MDPspot est une solution abordable et compacte permettant la caractérisation tout au long du cycle de vie de divers semi-conducteurs à différentes étapes de préparation. Conçu sans automatisation intégrée, il offre une grande flexibilité pour des applications variées.

  • Conception économique : une option abordable pour des mesures fiables de la durée de vie.

  • Compatibilité polyvalente : convient à une large gamme d'échantillons de semi-conducteurs, des plaquettes minces aux matériaux plus épais, jusqu'aux briques de 156 mm.

  • Réglage optionnel de l'axe Z : un axe Z à commande manuelle est disponible pour une manipulation précise des échantillons plus épais.

  • Logiciel intuitif : logiciel standard inclus pour une visualisation et une analyse claires des résultats.

Rationalisez vos processus de mesure grâce à ce système efficace et facile à utiliser.

 

Intéressé ? Nos experts sont heureux de vous aider.

Spécifications techniques

 plaquettes de silicium mono ou poly, briques, cellules, plaquettes après différentes étapes de traitement telles que la passivation ou la diffusion
taille des échantillonssupérieure à 50 x 50 mm² jusqu'à 12 pouces ou 210 x 210 mm²
résistivité0,2 - 10³ Ohm cm
matériauplaques de silicium, briques, plaquettes partiellement ou entièrement traitées, semi-conducteurs composés et autres
propriétés mesurablesdurée de vie des porteurs
dimensions360 x 360 x 520 mm, poids : 16 kg
alimentation110/220 V, 50/60 Hz, 3 A

 

Accessoires et options

Nos appareils offrent des options de configuration polyvalentes permettant de répondre efficacement à des besoins spécifiques. Chaque modèle peut être personnalisé afin de garantir une flexibilité et une efficacité optimales.

Contactez-nous pour plus d'informations

  • Variation de la taille du spot

  • Mesure de la résistivité (plaquettes)

  • Lumière de fond/de polarisation

  • Mesure de réflexion (MDP)

  • Extension logicielle

  • Lasers supplémentaires

Prendre contact

N'hésitez pas à nous contacter : nous sommes à votre disposition pour répondre à toutes vos questions ou demandes.

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sales@freiberginstruments.com