MDPlinescan

Scanner linéaire en ligne ou mesure ponctuelle

Le MDPlinescan est un appareil OEM conçu pour s'intégrer parfaitement dans les systèmes d'inspection automatisés. Il effectue des analyses de la durée de vie des supports en temps réel, généralement avec des échantillons acheminés sous la tête de mesure par un convoyeur à bande ou un système robotisé. Ses applications vont de l'inspection des briques de silicium à celle des plaquettes, avec des vitesses de mesure inférieures à une seconde par plaquette. Il est largement utilisé pour évaluer la qualité des matériaux entrants sur les lignes de production de cellules et pour les contrôles de qualité des processus après passivation et diffusion, entre autres applications spécialisées. Son intégration est simple et ne nécessite qu'une connexion Ethernet et une alimentation électrique.

Les faits

• permet l'analyse de plaquettes individuelles

• des mesures basées sur des recettes

• surveillance de la qualité des matériaux, de l'intégrité et de la stabilité du processus

Avantages

• Cet outil est spécialement conçu pour mesurer la durée de vie des porteurs minoritaires et les courbes de résistivité dans des conditions d'excitation µ-PCD ou en régime permanent.

• Unité OEM destinée à être intégrée dans des lignes de production de plaquettes de silicium monocristallin ou polycristallin à différentes étapes de préparation, jusqu'aux dispositifs, briques ou lingots.

• Sa petite taille et ses interfaces d'automatisation standard permettent une intégration aisée. L'accent est mis sur la fiabilité à long terme et la précision des résultats de mesure.