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Outil de cartographie de la résistivité rapide et fiable pour les échantillons fortement dopés

  • Répétabilité exceptionnelle (sigma < 0,15 %)

  • Capteurs de stabilité avancés

  • Intégration en ligne transparente et étalonnage sans effort

Matériaux

RESmap est spécialisée dans les matériaux fortement dopés.

Si SiC and more

Fonctionnalités et avantages

Sigma
< 0.15 %

une répétabilité exceptionnelle

Résistivité
1-100

mOhm cm

Débit
> 20

Plaquettes/heure

± 5 %

précision avec correction de température

± 5 %

précision avec correction de température

  • Une répétabilité
    exceptionnelle : une précision ultra-élevée avec un écart-type inférieur à 0,15 %, garantissant des résultats constants et fiables.

  • Capteurs
    de stabilité avancés : intègre un capteur de distance et de température, garantissant une précision et une stabilité de mesure supérieures

  • Intégration
    en ligne transparente Disponible sous la forme d'un capteur compact et entièrement automatisé, idéal pour des applications en ligne fluides et efficaces

  • Étalonnage
    sans effort Permet un étalonnage facile et stable à l'aide d'un jeu d'échantillons dédié, réduisant ainsi le temps de configuration et garantissant une fiabilité à long terme

  • Mesure et imagerie sans contact de la résistivité
    . Principe de détection par courants de Foucault à haute fréquence avec capteur de température IR intégré pour corriger les variations de température de l'échantillon

  • Forme des
    matériaux : plaquettes plates ou légèrement courbées, boules, lingots, plaques, ébauches et films minces

  • Résolution de placement X-Y ≥ 0,1 mm

  • Exclusion des bords : 5 mm

  • Fiabilité
    : conception modulaire et compacte de l'instrument de paillasse pour une fiabilité élevée et un temps de fonctionnement > 99 %

  • Durée
    < de mesure : 3 s pour la mesure et < 1 s entre les mesures

  • Vitesse
    < de mesure : 30 s pour une plaquette/un lingot de 200 mm, 9 points

RESmap offre une répétabilité, une stabilité et une précision inégalées, ce qui en fait le choix de confiance pour la cartographie précise de la résistivité dans une large gamme de matériaux.

Dr. Christian Hagendorf
Responsable grands comptes

Intéressé ? Nos experts sont heureux de vous aider.

Conçu pour l'automatisationdifférentes plateformes disponibles
Méthode de mesure conformeà la norme SEMI MF673
Données et validité des données vérifiéesà l'aide des normes NIST
Précision sur l'intervalle d'étalonnage: ±1 %
Capteur de température IR intégré (±0,1 °C)pour permettre de rapporter la résistivité à une température standard, différente de la température réelle de l'échantillon
Correction de l'épaisseur de l'échantillonpour les échantillons où la profondeur de pénétration du signal haute fréquence est supérieure à la profondeur de pénétration
Alimentation100-250 VCA, 5 A
Dimensions (l/h/p)465 x 550 x 600 mm
Contrôle logicielPC standard équipé de Windows 10 ou d'une version plus récente, 2 ports Ethernet

Logiciel d'exploitation convivial et avancé avec

  • Procédures de mesure de la résistivité

  • Fonctions d'exportation/importation et accès aux données brutes

  • Gestion des comptes utilisateurs à plusieurs niveaux

  • Aperçu de toutes les mesures effectuées

  • Options de cartographie (ligne, croix, étoile, carte complète, topographie, motif défini par l'utilisateur)

  • Ensemble de fonctions d'analyse : statistiques, analyse de variance, fonctions de correction de température et bibliothèque

  • Accessibilité à distance ; le système basé sur Internet permet une utilisation à distance et une assistance technique depuis n'importe où dans le monde

 

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