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Alignement des barres, analyse des wafers et tri des flans à l'aide d'un diffractomètre à rayons X

  • Vitesse de mesure aussi basse que 2 s (AT quartz)

  • Précision maximale ≤ 10 arcsec d'écart-type

  • Résolution spatiale 1 mm ± 0,1 mm

Fonctionnalités et avantages

  • Détermination de l'inclinaison de l'orientation par rapport à la surface de l'échantillon

  • Affichage automatique des composantes angulaires (Thêta et Phi), y compris l'écart-type

  • Ingénierie allemande : conception robuste et modulaire

  • Disponible pour différents types de découpe : AC, SC, IT, TF et bien d'autres

  • Suite logicielle conviviale avec plusieurs niveaux d'utilisateurs et affichage, enregistrement et rapport automatiques des données de mesure

  • Automatisation : systèmes de manipulation d'échantillons personnalisés pour des plaquettes ou des ébauches de différentes tailles, comprenant des robots, des systèmes de placement, des alimentateurs vibrants



Processus de fabrication de la barre à l'ébauche


Options

  • Interface MES pour l'industrie

  • Cartographie (plaquettes)

  • Projection stéréographique et plus encore

Données techniques

  • Tube à rayons X : 1,5 kW, anode en cuivre

  • Alimentation électrique : 200 – 230 V, 16 A, monophasé

Nous construisons des systèmes Quartz XRD pour l'industrie du quartz depuis des décennies - certains fonctionnent 24 heures sur 24 et 7 jours sur 7 depuis plus de 20 ans. Cette stabilité permet d'obtenir des résultats cohérents et traçables à chaque poste de travail.

Dr. Ing. Hans-Arthur Bradaczek
Chef de la technologie des rayons X

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