Analyse précise des matériaux pour le contrôle de la qualité des semi-conducteurs : La série RES
La cartographie avancée de la résistivité est essentielle pour le contrôle qualité des semi-conducteurs sur des matériaux tels que le SiC, le GaN, l'InP et bien d'autres. Grâce à la détection par courants de Foucault, il permet des mesures sans contact et de haute précision avec une excellente répétabilité (σ < 0,15 %), même sur des formes complexes telles que les plaquettes, les boules et les lingots. Des capteurs de distance et de température intégrés garantissent des résultats stables et précis en compensant les variations externes et liées au matériau.
L'automatisation de la cartographie de la résistivité a considérablement augmenté le débit et réduit les interventions manuelles. Grâce à leurs capacités de cartographie X-Y et à une résolution de mesure multipoints pouvant atteindre ±0,1 mm, ces systèmes sont optimisés tant pour les laboratoires de recherche que pour la fabrication à grand volume. Des procédures d'étalonnage simples et la compatibilité avec les normes industrielles telles que SEMI MF 673 contribuent à rationaliser la configuration et à maintenir les performances du système à long terme.
Alliant haute sensibilité, automatisation et large compatibilité avec les matériaux, cette technologie prend en charge un large éventail d'applications dans le domaine des semi-conducteurs, aidant ainsi les fabricants à améliorer leur rendement, à accélérer le développement et à évoluer en toute confiance.
Le lancement de RESmap sur le marché a été une étape importante, qui a changé la donne pour l'industrie des semi-conducteurs.
Dr. Christian Hagendorf
Responsable grands comptes
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