Matériaux
Recherche et développement avancés dans le domaine des matériauxQuelques exemples d'applications de recherche,
Détermination de la concentration en fer
Détermination de la concentration en piégeurs
Détermination de la teneur en bore et en oxygène
Mesures dépendantes de l'injection et plus encore
Fonctionnalités et avantages
Débit
>240
briques par jour
Vitesse
> 99%
Répétabilité
1 mm
Critères de découpe pour une brique de 156 × 156 × 400 mm
qualité
suivi
Imagerie sans contact et non destructive tout au long du cycle de vie (μPCD/MDP (QSS)), mesure de la photoconductivité, de la résistivité et vérification p/n conformément à la norme semi-industrielle SEMI PV9-1110
Découpe de plaquettes, surveillance de fours, optimisation des matériaux et plus encore
Meilleur débit : >240 briques/jour ou >720 plaquettes/jour
Vitesse de mesure : < 4 minutes pour une brique standard de 156 x 156 x 400 mm
Amélioration du rendement : critère de découpe de 1 mm pour une brique standard de 156 x 156 x 400 mm
Contrôle qualité : conçu pour la surveillance de la qualité des processus et des matériaux tels que le silicium monocristallin ou multicristallin
Détermination de la contamination : contaminations métalliques (Fe) provenant des creusets et des équipements
Fiabilité : instrument industriel modulaire et robuste pour une fiabilité et un temps de fonctionnement supérieurs à 99 %
Répétabilité : > 99 %
Résistivité : cartographie de la résistivité sans étalonnage fréquent
Les faits
Caractérisation électrique des semi-conducteurs, entièrement sans contact et non destructive
technique spéciale de mesure de la durée de vie « sous la surface »
Sensibilité avancée pour la visualisation de défauts jusqu'alors invisibles
Définition automatisée des critères de coupure
Détection de la transformation de type de conduction p/n avec résolution spatiale
Applications
Accessoires et options
Variation de la taille du spot
Mesure de la résistivité (briques/plaquettes)
Lumière de fond/de polarisation
Mesure de réflexion (MDP)
LBIC
BiasMDP
LBIC pour cellules solaires
LBIC, étage de mesure BiasMDP avec contacts
Plaquette de référence
Kit d'étalonnage de la résistivité (briques/plaquettes)
Cartographie interne du fer dans le Si
Détection P/N
Lecteur de codes-barres
Large gamme de lasers
