Permet une recherche avancée sur les matériaux pour les couches minces et les surfaces : sans destruction, flexible et rapide
Très sensible grâce à un système de détection électronique avancé
Lasers et optiques personnalisés pour jusqu'à 4 longueurs d'onde différentes
Étude des processus de séparation des charges et des transitions électroniques (défauts)
Matériaux
Fonctionnalités et avantages
355-1550 nm
Longueurs d'onde disponibles
10 ns
Résolution temporelle
0,1 mm
Résolution spatiale
< 5 min
Cadence pour les plaquettes de 8 pouces
Outil de cartographie flexible pour la R&D et le suivi de la production
La plateforme de produits HR-SPSmap s'appuie sur les bases éprouvées de la série MDPmap, largement plébiscitée. Cet outil de caractérisation électrique compact, de paillasse et sans contact est spécialement conçu pour le contrôle de production hors ligne et les applications de recherche et développement. Il mesure la phototension de surface (SPV) sur une large plage d'injection, prenant en charge à la fois l'excitation en régime permanent et l'excitation par impulsions courtes. Grâce à la reconnaissance automatisée des échantillons et à la configuration automatisée des paramètres, il s'adapte sans effort à une grande variété d'échantillons, y compris les couches épitaxiales et les plaquettes à différents stades de traitement, du matériau tel qu'il est obtenu à la sortie du four jusqu'aux dispositifs entièrement fabriqués.
Flexibilité exceptionnelle et fonctionnalités avancées
L'un des principaux atouts du HR-SPSmap réside dans son exceptionnelle flexibilité. Équipé de sources d'excitation à énergie fixe, le système prend en charge l'intégration de jusqu'à quatre lasers au sein de la tête de mesure. Cette capacité facilite les mesures de SPV en fonction du niveau d'injection sur une large plage, allant de niveaux d'injection très bas à élevés, et permet le profilage en profondeur à l'aide de différentes longueurs d'onde laser. Le système comprend également une fonction de lumière de polarisation pour des options de mesure améliorées.
De plus, l'HR-SPSmap prend en charge les calculs personnalisés et les configurations de cartographie, ainsi que la possibilité d'exporter des données brutes pour une analyse externe détaillée. Pour les tâches de métrologie standard, la plateforme offre un système de recettes prédéfinies, permettant d'effectuer des mesures de routine d'une simple pression sur un bouton.
Précision et adaptabilité
Grâce à ses capacités avancées et à sa conception conviviale, le HR-SPS est la solution idéale pour les chercheurs et les équipes de production à la recherche de mesures de phototension de surface de haute précision. Que ce soit pour l'innovation en R&D ou pour une surveillance fiable de la production, cette plateforme redéfinit la flexibilité et l'efficacité en matière de caractérisation électrique.
