晶体反射的摇摆曲线反映了晶格的质量。这既可以逐点测量以快速检查,也可以结合映射工具生成质量分布图。

测量摇摆曲线即指在Theta扫描模式下进行测量,这需要使用测角仪。 为减小光谱带宽和发散角,将双晶置于主光路中。但其副作用是光强会大幅降低。因此,双晶安装在可伸缩的支架上,以便能够将其“开启”或“关闭”。