借助 MDPmap,不仅可以测量受注入电流影响的寿命曲线,还能在非常宽的注入电流范围内测量光导电曲线。
在 MDPmap 和 MDPingot 中,最多可集成 4 台不同的激光器,因此不仅能够测量受注入电流影响的寿命曲线,还能在非常宽的注入电流范围内测量光导电曲线。 图 1 展示了不同已知寿命测量方法的典型注入范围的比较。由于其非凡的灵敏度,MDPmap 和 MDPingot 能够测量超过七个数量级的注入。通过偏光和反射测量,精度得到了显著提高。
如图 2 所示,在 SiNx 钝化多晶硅 (mc-Si) 晶圆上的 2 个不同点位上,仅使用 MDPmap 一种方法即可覆盖整个关键注入范围。此前,必须使用多种不同方法,而这些方法往往无法相互比较。 借助 MDP,可以轻松获取关键的注入依赖寿命曲线。
如需了解更多信息,请参阅:
[1] S. Rein,《寿命光谱学——一种用于光伏应用的硅缺陷表征方法》,第85卷(Springer出版社,柏林海德堡,2005年)