砷化镓材料质量调查

与其他技术相比，MD-PICTS（微波检测光诱导电流瞬态光谱法）甚至能够检测到单晶砷化镓样品薄表面区域（3 µm）的信号，因此能够分析表面处理的影响等。 图 1 显示了不同受主浓度的样品中，众所周知的 EL2 缺陷的峰值。