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可使现有设备满足 200 mm、300 mm 硅锭高端晶向偏差与定位Notch精度指标要求
可让现有设备达到高端晶向偏差与定位Notch精度规格要求
全产线适配型晶圆晶向分布在线mapping检测方案
适用于高速晶体晶向检测、量产工况下晶体定位校准、品质管控、摇摆曲线测试、材料科研等多种场景。
整机结构紧凑，可从底面完成超高速晶体晶向检测
超快端面测量晶体取向，采用紧凑型封装
全自动在线式晶锭、晶棒与硅片坯定向及上下料处理系统
Fully automated wafer, seed wafer and boule quality control and…
石英棒、晶片和坯料的生产与质量控制
该产品即将推出
高精度电阻率Mapping系统 精准实现材料分析
超越极限的精度：面向电阻率测量的下一代太赫兹Mapping技术
高精度少子寿命表征，检测灵敏度出众
简易快速完成少子寿命检测
多功能定制化设备，用于测量硅样品（从硅砖到加工晶片）的少子寿命
用于半导体质量控制和材料研发的先进寿命测量系统
先进的单晶硅锭、硅砖和硅片质量控制解决方案
变温少子寿命测试系统，用于高端材料分析
高精度变温少子寿命测试系统，用于材料精准表征
高端高温少子寿命测试系统，用于深度材料性能分析
基于热释电效应判定晶体表面极性便携式检测系统
高分辨率、高灵敏度的表面光电电压测量解决方案
配备可调能量激发光源
专为集成到手套箱中而设计，可加热至 100°C，高分辨率，高灵敏度表面电压测量
宽波段双棱镜单色仪
专为智能生产环境设计的GWh级电池化成与测试方案
中试规模电池化成与测试：智能、测量驱动的过程控制
集成传感 + 先进充电控制，打造测量驱动的智能化电池化成
双面 PERC/PERC+、HIT、Topcon、晶体硅太阳能电池、迷你模块等的质量控制解决方案
超高灵敏度 TL/OSL 测量仪
业界领先 TL/OSL 测量仪
便携式OSL读数仪，可高效读取与擦除适配的个人辐射剂量计
业界领先的个人剂量OSL系统
Freiberg Instruments新型热释光测量仪
符合 EN 13751:2009 标准，可用于辐照食品检测
用于极端工况下高精度吸附测量的磁悬浮天平
全自动高灵敏度拉曼传感器，用于聚合物与半导体分选
辐射污染监测仪
用于运输容器测量的空间分辨探测器杆
高量程剂量率仪
便携式设备，配备 50 mm PIPS 探测器，浓度计算符合 ISO 11929 标准
伽马辐射监测仪
低噪音便携式空气压缩机，lexsyg 全系列通用
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最大压力：8 bar
低噪音（33dB）
重量（22 kg）
