Cartographie précise de l'orientation des surfaces avec Omega-Scan
Même au sein d'un même monocristal, de légères variations d'orientation cristalline peuvent apparaître à la surface, souvent dues à des contraintes internes résultant de défauts du réseau cristallin. De même, des films minces de bonne qualité peuvent présenter des distributions d'orientation dans le plan qui leur sont propres.
La cartographie de telles surfaces nécessite généralement de nombreuses mesures, et c'est là que la méthode Omega-Scan excelle par sa rapidité et son efficacité. L'image ci-dessous illustre une carte d'orientation mesurée sur une plaquette de solution solide (Si, Ge), où la différence d'orientation maximale n'est que de 0,03°. Les cercles concentriques de la carte correspondent aux anneaux de croissance du cristal, fournissant des informations précieuses sur sa structure.
Technologies associées: Oméga-scan, Theta-scan
Solutions et secteurs industriels associés: Couches épitaxiées et couches minces
