Test de plaquettes de haute précision avec Omega-Scan
Pour garantir les performances exceptionnelles requises dans le domaine des semi-conducteurs, chaque plaquette doit être soumise à des tests approfondis. La méthode Omega-Scan, réputée pour sa rapidité et sa précision, est idéale pour les solutions de diffraction des rayons X (XRD) en ligne entièrement automatisées. Elle permet une caractérisation complète de la surface, y compris l'analyse du vecteur d'inclinaison de la surface et la mesure de l'orientation dans le plan, comme l'alignement perpendiculaire par rapport à la surface plane de la plaquette. De plus, elle offre une détection automatisée des surfaces planes ou des entailles de la plaquette, ainsi que leurs mesures précises.
Les solutions Omega-Scan sont disponibles pour tous les matériaux et toutes les orientations de plaquettes standard. Le quartz reste le matériau le plus couramment utilisé, pour lequel l'intégration de la technologie de cartographie s'avère particulièrement avantageuse. En identifiant les zones de haute qualité de la plaquette avant la découpe des ébauches, le processus garantit une utilisation optimale du matériau. Au cours de la production des plaquettes, les contraintes thermiques peuvent provoquer des déformations, entraînant un gauchissement et un bombement. Voir fig. 1 et 2. Un capteur en option mesure avec précision ces déformations, garantissant ainsi un contrôle qualité précis.
Fig. 1 - Warp and bow measument with a line laser instrument attached to the diffractometer
Fig. 2 - Sapphire wafer surface geometry as the result of the warp and bow measurement
Technologies associées: Oméga-scan, Theta-scan
Solutions et secteurs industriels associés: Couches épitaxiées et couches minces
