Mesure efficace de l'orientation des cristaux et de la direction dans le plan avec Omega Scan
L'Omega Scan fournit une orientation cristalline complète en une seule mesure, ce qui permet d'identifier directement les directions dans le plan. Cette fonctionnalité est particulièrement utile pour marquer les directions dans le plan ou pour vérifier l'orientation des surfaces planes et des encoches.
Lors de l'implantation et de la photolithographie de la plaquette, la face plane ou l'encoche sert de repère d'orientation. Après traitement, la plaquette contient des centaines de puces qui doivent être séparées par clivage. Un alignement correct de ces puces par rapport à un plan de réseau est essentiel pour faciliter le clivage, ce qui rend nécessaire la vérification de la position de la surface plane ou de l'encoche. Cela nécessite une mesure précise des composantes dans le plan.
Contrairement à la méthode Theta Scan, plus complexe ou imprécise, Omega Scan mesure avec précision l'orientation complète en une seule fois. Le système permet également d'ajuster facilement n'importe quelle direction dans le plan à une position spécifique définie par l'utilisateur, ce qui simplifie des tâches telles que le marquage de l'orientation des méplats. Pour les applications à haut débit, des solutions de mesure automatisées sont disponibles, garantissant une efficacité maximale.
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