面内方向のマーキングと測定

オメガスキャンによる効率的な結晶方位と面内方向の測定

Omega Scanは、1回の測定で結晶方位を完全に把握できるため、面内方向を直接特定することが可能です。この機能は、面内方向のマーキングや、フラット面およびノッチの方位の確認に特に有用です。

ウェハーのイオン注入やフォトリソグラフィ工程において、フラットやノッチは配向マーカーとして機能します。加工後のウェハーには数百個のチップが含まれており、これらを切断して分離する必要があります。 これらのチップを格子面に対して正確に位置合わせすることは、容易な切断のために極めて重要であり、そのためフラットやノッチの位置を確認する必要があります。これには、面内成分の精密な測定が求められます。

より複雑で精度の低いシータスキャン法とは異なり、オメガスキャンは一度の測定で方位全体を正確に測定します。また、本システムでは、任意の面内方向をユーザーが定義した特定の位置に簡単に調整できるため、フラット方位のマーキングなどの作業が簡素化されます。高スループット用途向けに、自動化された測定ソリューションも用意されており、最大限の効率を確保します。