クリスタルの品質測定

XRD反射率分析による結晶品質の評価

結晶の品質を直接測定することはできませんが、いくつかの物理的特性を評価し、純粋で均質な結晶の基準と比較することは可能です。その一つが、X線回折（XRD）回折ピークの半値幅です。

結晶格子の規則性がその品質を決定づける。欠陥、転位、不純物といった不完全性は、あらゆる格子に内在している。さらに、粒界や亀裂のような不連続性も存在する。これらの不完全性は周囲の格子内に局所的なひずみを生じさせ、X線回折のロッキングカーブを記録することで検出することができる。

入射ビームの幾何学的特性と、その結果得られるロッキングカーブの半幅を分析することで、結晶の表面品質を効果的に評価することができる。