マッピングステージを使用すると、制御されたグリッドパターンに従って試料表面全体を調査することができます。Omega/Theta XRD装置は、ターンテーブルの上に追加のXY位置決めステージを容易に取り付けることができます。 試料表面は、ユーザーが定義したグリッドに従って走査することができます。試料上のX線スポットのサイズに起因して、最小グリッド間隔は約1 mmとなります。
マッピングステージは、Omega Scanと組み合わせて結晶方位マッピングを行うことや、ロッキングカーブ測定と組み合わせて表面の歪みマッピングを行うことが可能です。表示および解析用のソフトウェアパッケージも用意されています。
