SPV-4-UWBG - 超ワイドバンドギャップ半導体の表面光起電圧の開発
2025年6月1日 – 2027年12月31日
本プロジェクトの目的は、窒化アルミニウムなどの初期のUWBG半導体に対するSPV測定法を確立し、その有効性を評価するとともに、代替解析手法を用いて測定結果を解釈することである。また、測定原理の物理的メカニズムをより深く理解するために、理論シミュレーションを実施する。
TemCrysT - GaNトランジスタ開発のためのGaNテンプレート、GaN結晶、GaNウェハー
2023年7月1日 – 2026年3月6日
本プロジェクトの目的は、ラマン測定に基づくGaNのプロセス制御のための自動特性評価手法を確立することです。本プロジェクトは、フライベルクにおける半導体産業の競争力を確保・拡大することを目指しています。この目的のために、Freiberg Instruments社は、完全自動化された共焦点ラマン測定のデモ機を開発します。これは、使用されるヘテロエピタキシープロセスにより結晶内に自然に生じる残留応力を分析するために使用されます。 これにより、プロセスチェーン全体にわたる優れたフィードバックが実現される見込みです。さらに、これまでシリコン向けに確立されてきたMDP法（マイクロ波検出型光伝導度法）を、大型HVPE GaN結晶に初めて適用し、この材料における欠陥解析の可能性について研究・実証を行います。 さらに、新開発の SPV 分光計（表面光起電力）の機能を GaN に適合させ、この装置を材料特性評価に活用できるようにする。
G12 - M2からG12までのシリコン・モノウエハ開発：未来のセル形状
2022年4月1日 – 2025年3月31日
最大210×210 mmサイズの単結晶ブリック向けMDP寿命測定技術の開発
「G12」プロジェクトの主な目的は、大判（182×182 mm、210×210 mm、場合によっては240×240 mm）のインゴットおよびウェーハのプロセスおよび技術開発である。 大型インゴットおよび大型ウェーハの製造には、結晶化システム、プロセス制御、インゴットおよびブリックの機械的加工、そして最終的には製造されたブリックおよびウェーハの評価ツールのさらなる開発が必要です。Freiberg Instrumentsにおけるサブプロジェクトの焦点は、大型ブリックフォーマット向けのMDP技術を用いた寿命測定のさらなる開発にあります。
セミコン
2021年3月1日 – 2024年2月29日
本プロジェクトでは、薄膜半導体のドーピング濃度、シート抵抗、および膜厚を測定するための、THz（テラヘルツ）波を利用した高速かつ非接触の特性評価ツールを開発する。
SALSA - 電荷キャリア選択性太陽電池の測定技術と感度解析
2021年4月1日 – 2024年3月31日
「SALSA」プロジェクトでは、特にヘテロ接合（HJT）やTOPConといった先進的な太陽電池技術向けに、品質保証およびプロセス制御に必要なインライン測定技術ならびに品質保証コンセプトの開発、最適化、および技術経済的評価を行うことを目的としています。Freiberg Instrumentsは、HJTおよびTOPCon技術向けにMDPを用いたインライン寿命測定機能のさらなる開発に注力しています。
主なタスクは以下の通りです：
TOPConおよびHJT向けのシステム最適化（インライン：MDPlinescan、オフライン：MDPmap）
各製造工程（TOPCon／HJT）における適切な励起条件の特定
特定プロセス段階における欠陥の検出可能性
最適化されたMDPlinescanシステムのコンセプト開発
SPV - 光活性材料の特性評価のための表面光起電力分光計の開発
2021年1月1日 – 2022年12月30日
現在、市場には、事実上あらゆる光活性材料や半導体を測定できる、汎用性の高いコンパクトなSPV分光計（SPV：表面光起電力）は存在しません。 本プロジェクトの目的は、コンパクトなSPV分光計を開発することである。我々の革新的なSPV分光計と、特許出願中の測定装置を活用することで、深紫外から近赤外までの非常に広いスペクトル範囲において、非接触かつこれまでにない感度で、電荷分離、電子遷移、および拡散長を評価することを目指す。
プロジェクトパートナー各社の強みを相互に補完し合う形で、Freiberg Instrumentsはデバイスの開発および実証機の製造に、HZBは手法の開発、重要部品の開発、検証および試験に、HZGはシミュレーションおよびSPV用解析・シミュレーションソフトウェアの開発に、それぞれ重点を置いています。
技術移転 PIDconバイフェイシャル
2020年7月1日 – 2020年12月31日
本プロジェクトでは、両面型太陽電池の電位誘起劣化（PID）に対する感受性を試験するための新規技術を、フラウンホーファー・シリコン太陽光発電センター（CSP）からFreiberg Instruments社（Freiberg Instruments GmbH）へ移転し、市場投入可能な製品として開発することを目的としています。フラウンホーファーCSPは、新規プロセス（太陽電池モジュールまたは太陽電池の電位誘起劣化を試験するためのプロセスおよび装置）について特許を出願しており、この知見をFreiberg Instruments社へ移転する予定です。
本プロジェクトは、SABおよびEUの資金提供を受けています。
クオリゼル・メッス-ODNP
2019年11月1日 – 2021年10月30日
Freiberg Instruments社は、ボーフム工科大学と共同で、水のダイナミクスおよびタンパク質の機能を調査するためのEPRとNMRを組み合わせたODNP測定ツールを開発しています。
本プロジェクトは、ZIMネットワーク「Qualitätskontrolle Zelltherapie」（https://www.qualitaetskontrolle-zelltherapie.de/）の一環として、ZIMおよびドイツ政府から資金提供を受けています。
μTHIN
2019年9月1日 – 2021年8月31日
本プロジェクトの目的は、マイクロ波検出を用いて、例えばSi上のGaN薄膜のシート抵抗を測定するためのセンサーを開発することです。さらに、MDP技術について、時間分解能、感度、および異なる温度下でのマッピング可能性の面で、その性能を次のレベルへと引き上げます。プロジェクトパートナーであるフライベルク工科大学は、新しいセンサーと改良されたMDPの測定結果を、PL（光励起発光）およびラマン分光測定の結果と関連付けることで、測定結果の解釈に関する新たな知見を得ようとしています。
本プロジェクトは、EUのEFRE基金から資金提供を受けています。
オメガスキャン
2018年1月1日 – 2020年12月31日
様々な用途に向けたオメガスキャン技術の進化
Freiberg Instrumentsは、ダイヤモンドやその他の広帯域ギャップ半導体、エピタキシャル層、タービンブレード、石英などの配向を目的とした、様々な用途向けの単結晶配向技術「オメガ・スキャン」をさらに進化させています。
本プロジェクトは、SABおよびEUの資金提供を受けています。
PIDリカバリー
2018年1月1日 – 2020年12月31日
Freiberg Instrumentsは、PIDの回復およびそれによるモジュールの効率を予測する手法の開発を目的としたプロジェクトに参加しています。Freiberg Instrumentsは、屋外環境におけるモジュールのPID試験およびその回復を評価するためのツール「PIDcheck」のさらなる開発を進めています。
本プロジェクトは、ドイツ連邦経済・エネルギー省（BMWi）の助成を受けています。
Smart3｜ 素材 - ソリューション - 成長
2017年5月1日 – 2020年4月30日
スマートプロセス – スマート材料
向けプロセス技術：MSMの製造および材料特性評価
Freiberg Instruments社は、サブプロジェクト2「MSMアクチュエータスティック製造のためのプロセスチェーン」において、MSM（磁気形状記憶）単結晶の結晶方位決定に対するX線回折法の適用可能性を調査しています。評価が良好な場合、後続の加工工程との連携をさらに検討し、測定プロセスの自動化を進めます。
本プロジェクトは、BMBF（ドイツ連邦教育研究省）の助成プロジェクト「Zwanzig20」の枠組み内で資金提供を受けています。
Qクリスタル
2017年1月1日 – 2019年12月31日
本プロジェクトの全体的な目的は、ブロック状シリコンの生産プロセスを、ブロックおよびウェハーの品質評価における迅速かつ革新的な手法を活用して産業規模で最適化し、それにより製造されるシリコンウェハーの品質を向上させることです。これは、高効率な産業用太陽電池構造によって実証される予定です。Freiberg Instrumentsは、本プロジェクトにおいて、産業界およびフラウンホーファー協会から7つのパートナーと協力しています。
本プロジェクトはBMWiの助成を受けています。
担当者：
ナディーン・シューラー博士 (schueler@freiberginstruments.com)
SEA4KET
2013年11月1日 – 2017年4月30日
本プロジェクトの目的は、450mmウェーハ向けの各種計測コンポーネントの評価を行うことです。Freiberg Instruments社は、本プロジェクトにおいて、高解像度の寿命測定用測定ヘッドを供給しています。
カットB
2015年12月1日 – 2018年11月30日
本プロジェクトの目的は、ドイツの太陽光発電産業における最先端の特性評価および技術を評価・改善することです。主な焦点は、インライン計測ツールと、様々な測定パラメータを用いた太陽電池効率の予測にあります。
Freiberg Instruments社は、同社のインライン計測ツール「MDPinline」を用いて本プロジェクトに参加しています。目的は、各プロセス工程後のウェハーに対する寿命測定を通じて、太陽電池の効率予測の可能性を高めることです。さらに、各プロセス工程における典型的なエラーを調査し、自動検出を可能にすることを目指しています。
本プロジェクトは、ドイツ連邦経済・エネルギー省（BMWi）の支援を受けています。
担当者：
ナディーン・シューラー
博士 E-Mail：schueler@freiberginstruments.com
ワイド
2016年1月1日 – 2018年12月31日
本プロジェクトは、Freiberg Instruments社およびフライベルク工科大学（TU Freiberg）が共同で実施するものであり、広バンドギャップ半導体の測定用科学機器「MDPmap」の改良を目的としています。これには以下が含まれます
短い寿命（> 10 ns）も測定できるよう、時間分解能の向上
感度向上
深部欠陥の調査に向けた、800 Kまでの温度範囲の拡張
本プロジェクトは、SABおよびEUの助成を受けています。
PIDcheck
2016年3月7日 – 2017年6月6日
本プロジェクトは助成を受けた技術移転プロジェクトであり、Freiberg Instruments社がハレのフラウンホーファーCSP研究所と協力し、野外環境におけるモジュール試験用のPID試験ツールを開発しています。
本プロジェクトは、SABおよびEUの助成を受けています。